玻璃化转变温度要高于烘烤温度。坚膜的温度也称为光刻胶的玻璃态转变温度，通常要高于前烘和曝光后烘烤温度，在这个温度下，光刻胶将软化，成为类似玻璃体在高温下的熔融状态。玻璃化转变温度（Tg）是指由玻璃态转变为高弹态所对应的温度。玻璃化转变是非晶态高分子材料固有的性质、高分子运动形式转变的宏观体现，它直接影响到材料的使用性能和工艺性能，因此长期以来它都是高分子物理研究的主要内容。玻璃化温度（Tg）是分子链段能运动的最低温度，其高低与分子链的柔性有直接关系，分子链柔性越大，玻璃化温度就低；分子链刚性大，玻璃化温度就高。
