专利名称：晶圆传输校准装置专利类型：实用新型专利发明人：许鹖
申请号：CN201220748817.3申请日：20121231公开号：CN203055882U公开日：20130710
摘要：本实用新型提供的晶圆传输校准装置，包括一与晶圆相同大小的检测圆盘、LED显示板、电路板、光电转换器、若干光信号发光体以及若干光纤，所述LED显示板和所述光电转换器分别与所述电路板连接，所述光信号发光体设置于所述检测圆盘上由晶圆夹持机构夹持的部位，每种晶圆夹持机构对应一个LED显示板，所述光纤设置于所述检测圆盘上，且所述光纤在所述光信号发光体位置设有采光口，且所述光纤分别连接至所述光电转换器。本实用新型不但使用方便、便捷，而且能够保证传输准确性，使得机械臂、晶圆夹持器和工艺载盘在对晶圆实现准备传输，从而确保工艺的稳定性，提高产品良率。
申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
地址：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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