先进封装技术与设备 电子工业苣用设备 － 工业视觉机器人在单晶硅电池片 ＰＶＤ工艺中的应用 郭晋竹，李大伟，乔雷，郑凯 （中电科风华信息装备股份有限公司，山西太原０３００２４） 摘 要：介绍了单晶硅电池片物理气相沉积（ＰＶＤ）Ｘ－序封装解决方案及工艺流程。通过设计 基于视觉技术的ＳＣＡＲＡ工业机器人系统．实现了封装流程的自动化，解决了人工封装过程效 率低、成本高、容易污染硅片的问题。并对该系统进行了分析优化，给出了提高精度、速度的优 化方案。 关键词：单晶硅电池片、ＰＶＤ工艺、工业视觉机器人 中图分类号：ＴＰ２４２．２ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００４．４５０７（２０１７）０２．００３０．０６ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｖｉｓｉｏｎ Ｒｏｂｏｔ ｉｎ ＭｏｎｏｃｒｙｓｔａＵｉｎｅ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｏｌａｒ ＰＶＤ Ｐｒｏｃｅｓｓ ＧＵＯ Ｊｉｎｚｈｕ，ＬＩ Ｄａｗｅｉ，ＱＩＡＯ Ｌｅｉ，ＺＨＥＮＧ Ｋａｉ （ＣＥＴＣ Ｆｅｎｇｈｕａ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．，Ｔａｉｙｕａｎ ０３００２４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓ ｔｈｅ ｐａｃｋｉｎｇ ｓｏｌｕｔｉｏｎ ａｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｌｏｗ ｏｆ Ｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｓｏｌａｒ ＰＶＤ Ｐｒｏｃｅｓｓ．Ｄｅｓｉｇｎ ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ ｖｉｓｉｏｎ ｒｏｂｏｔ ｓｙｓｔｅｍ，ｔｏ ａｕｔｏｍａｔｅｐａｃｋｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ，ｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅ ｅｆｉｃｉｆｅｎｃｙ ａｎｄ ｑｕａｌｉｔｙ．Ａｎａｌｙｓｉｓ ａｎｄ ｏｐｔｉｍｉｚｅ ｔｈｅ ｓｙｓｔｅｍ，ｐｕｔ ｆｏｒｗａｒｄ ｓｏｌｕｔｉｏｎ ｏｆ ｉｍｐｒｏｖｉｎｇ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ａｎｄ ｓｐｅｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎ ｓｏｌａｒ；ＰＶＤ ｐｒｏｃｅｓｓ；Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ ｖｉｓｉｏｎ ｒｏｂｏｔ 传统的工业机器人通过预先设定指令动作， 在结构化环境中完成固定化工作，缺乏对产品和 控制、视觉技术与工业机器人系统集成等方面给 出整体解决方案，并重点针对生产效率、产品品质 关键环节，给出提高速度精度的优化方案。 环境的适应性，这极大地了机器人的应用［１１。 随着多学科技术的交叉发展，尤其是视觉技术的 融合，使得工业视觉机器人在高速高精度搬送作 业中具有人工劳动力不可比拟的优势。论文针对 单晶硅ＰＶＤ工序需求，从机械手结构设计、电气 收稿日期：２０１７—０３．０２ １单晶硅电池片ＰＶＤ工艺封装解决方案 ＨＩＴ异质结单晶硅电池，具有低成本、高光电 电子工业苣用ｉ殳备 Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｆｏｒ Ｅｌｅｅｔｒｏｎｉ！ ！．０ ｕ ａｎ ｎｇ先进封装技术与设备 转换效本 ｌ佝优坍。ＨＩＴ Ｉ 池制符过 ｒＩ ， 通过 溅 法完成ＰＶＤ（物 ｉ沉积）』 Ｊ ，使¨ 舣 际Ｉ，ｆ勺 ｍ Ｅ 枞 化物透ｌ９ Ｊ导｝Ｕ薄膜，以保 电池 ｎ，Ｊ光 电４寺 ，提高｝Ｕ池』【．ｆ门）匕ＩＵ转换效率 。 ， ：过 ｔ， 要将・、ｆ『＇Ｉ…， 池片放胃 Ｉ ：（以卜 称ｔｆ 托） ｌ１勺ｌｔｆｌ （ ｌ冬Ｉ １ ，Ｊ ），Ｉ１ｆ 川ｔ 制． 扳（以卜 陶称 扳）通过销孔封装【】Ｉ ｌ， ｉ Ｊｌ！ ” ＰＶＤ溅射过 Ｉ 不会闪气 波动脱 ．嚼 。 托…ｆｉ ｆ／ｉ￣Ｆ为３ １１１１１１的｛ｆ＝｝饭加 【ｎ 成，为Ｊ 个钳 Ｅ 卜 度，缚个甜；托 加－Ｉ：９个１５７ １１１１１１× ｌ ５７ Ｉ１＂１１１１的 憎，川ｔ米放 片， ｉ Ｉ槠 ｝ｌ ｌＪＪ 分采 ¨川ｔ 汁以减 质 ，俅个凹槽口 边 计１个 ｄ）２ ｍｍ的圆ｊ＝ｊ＝） 销 ， 扳Ｉ：的孔形成销孔 ，起剑ｌｌＩｌＩ定上寸装。 板Ｉ，Ｉ勺ｆ１。¨Ｊ。 图１铝制托盘示意图 饭怂… 嫂为３ １１１１１１的钒板 成的ｌ １ ：彤 ， ２所，Ｊ ．赢板匕设计仃４个４，２ １１１１］［１ ｊ １托 ｒ埘 的 装孔。ｔ、ｆｆ．品硅电池』 ‘尉装先 匕 ，进｛ｒ ＰＶＤ Ｉ 溅射，瓴化物透 持，ｔｚ膜ｊｊ卫 过 扳 ‘孔，沉秋Ｊ 矾＂ ，盖扳能够保ｊ，Ｊ矾 Ｕ川 ／ｆ ［ 电＿ＪＪＩｌ，ｆ 硅片ｌＩ 反 ／１ 通， 避免★ｌ 符。 ＨＩＴ Ｉ ｌ｛＾ ｝Ｕ池』 恪为：１５６．７５ １１１１１１× ｌ５６．７５ １１１１ＴＩ±０．２５ １１＂１１１＂１（ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ＞１２０ ｍ）， 【 ３。 为Ｊ 『乜池引 ‘的 天观以及一 光Ｉｌｌ转 换效 ， 实际封装过 Ｉ ｔ１，要求比较 ， 避 免 必 的人为接触， 敛对碎片农 形成污染， 抓 ”的机械丁 采川们努利 接触ｌ搜Ｉｍ：Ｊ 避免 ”水、 力‘ 移动， 敛 片划伤， 抓取、 图２盖扳示意图 旧３单晶硅、乜视片示．迓图 释放仃 』【．过 中保 髓”ｌ 运动： 保 ＂ 引ＩＩ Ｊ 、 扳与钳托的 狄 Ｉ 』 达到±０．０５ １１１１１＂１ 以卜： ¨ ‘随？ 光伏『 场竞 Ｉ Ｉ 激烈，消 ｆ１ 场 对电池 ”价格微小变动 敏感，，１ 效 址 成小控制的父键性 素。综ｌ ，－ ’速度高柑艘址封 装 艺的 禁， 纯依 －。 人】 劳动 足雉以 保 的， 觉机器人址 ，』解决川题ｎ，Ｊ最优 选择。封 流 及示意 ４、图５。 图５封装工序 意阌 匝圆圆（总第２６３＿！［ＪＪ）ｌ３ｌ 先进封装技术与设备 电子工业专用设备 － ２基于视觉技术的工业机器人系统设计 针对单晶硅电池片ＰＶＤ工艺封装流程，建立 成，用来控制机器人末端执行动作。通过ＣＣＤ相 机对目标进行拍摄，计算机通过图像识别方法，提 取图像特征，进行数据识别和计算，通过逆运动学 基于视觉技术的工业机器人系统，主要由视觉系 统、机器人系统、机械手执行系统三大部分构成 （见图６）。视觉系统由两个ＣＣＤ相机和计算机 （包括图像采集卡）组成，负责视觉图像的采集和 机器视觉算法。机器人系统由计算机和控制器组 求解得到机器人各关节位置误差值，调整机器人 的位姿，实现末端执行机构高精度控制＿３＿。机械手 执行系统负责驱动机械手实施对目标的抓取操 作。工作人员可以通过计算机查看监控整个系统 的工作状态。 图６工业视觉机器人系统 ２．１机器人系统设计 ７００ ｍ／ｎ的机器人，其中第一关节臂长４００ ｍｍ，第 二关节臂长３００ ｍｍ。机器人的安装位置及运动轨 迹应提前做出规划，保证机器人运动范围无干涉 碰撞，尽量减小第一关节旋转角度，保证响应速度 （见图７）。负载的选取由机器人末端安装的机械 手及相机的质量及转动惯量决定。本文选取的机 器人产品特性见表１。 表１ Ｌｓ６ ＳＣＡｌｌＡ机器人产品特性 机器人系统主要由机器人本体、控制器构成＿４＿。 本文中机器人系统主要执行硅片与盖板的封装动 作，包括沿扎Ｙ、 方向平移、绕ｚ轴旋转角度 四个 自由度，同时硅片与盖板来料方向不同，抓取二者的 机械手结构也不同，一个工位需要两套机器人分别 执行。当前市场上，ＳＣＡＲＡ机器人在重复精度、响 应速度、产品成本具有优势，本文选用ＥＰＳＯＮ ＬＳ６ 系列ＳＣＡＲＡ机器人，控制器选用ＥＰＳＯＮ ＲＣ９０。 ＬＳ６一ＳＣＡＲＡ机器人的主要选取参数包括：臂 长、负载、标准循环时间、重复精度。ＳＣＡＲＡ机器 人臂长的选取由目标位置决定，本文根据取料目 标位置Ａ以及铝托封装目标位置１－９选取臂长为 项目名称 臂长／ｍｍ 负载／ｋｇ 标准循环时间／ｓ 数值 ７００ 额定２／最大６ ０．４２ ４－００２ ．重复精度鬻 ±０．０１ 图７机器人轨迹规划 电子工业专用设备ＥｑｕｉｅｃｔｒｏｎｉｃＰｒｏｄｕｃｔｓ Ｍａｎｕｆｐｍｅｎｔ ｆｏｒＥｌａｃｔｕｒｉｎｇ ４．８ ＩＴＩＩＴＩ×３。６ １ＴＩ１ＴＩ．像 兀堪到衣仅小＿先进封装技术与设备 ］汉菌 为０．００３ ７５ ＩＴＩＩＴ｝，Ｉ：作 为Ｊ 人Ｉ 作 域， 行忖的安 成， ＳＣＡＲＡ机 人的Ｊ：作效 、Ｊ：作精 ｆ 时 Ｉ１， ｔ缩机器 个 ．化的 食机 人 川芹臂＋ 个机器人采川铸仆底座安装 ８）。 台机器人采川这样的安 通过技术手段 度，减小机器人执 动作所 ‘ ， 离为６５ ＩＴＩｌＴＩ，通过 采 的影响，何食十ＩＩ机 １． 扳干ｌ ｌ［＝ 个十ＩＪ村销 孔进行定化。为’ｒ避免ｌ 作』１、境刈ＣＣＤ 机 像 Ｉ １ １ ； 一＿光源。恪个 机 人 “述运动状态卜，／１ 发牛冕 视觉系统采川Ｊ， 拖２、ｌ 俞刈化系统 制 ，完成 像的采集、 ｛刖、 Ｉ 。 动，影响粘艘（ 装 ‘ ，会仃 徘 Ｉ 涉 域， 避免发，１ 。通过十Ｉｌ拟 俞机 人川＿ｌ、ｆ １ 作的 轨迹，怀定机器人的碰摧 域，砹 捕临界点作 为机 人的 ｆ０＾，改 台机 人的优允级，保 训 机器人／ｆ ｌ－ ＩＩ，Ｊ’进入们６ｊ Ｉ 域。 ２．２视觉系统设计 ｛ｌｃ ＣＣＤ ４叶｛｝Ｊ【 ｊ ｌ｜、【ｌ ｛Ｉｌ 人ｆ ｆ ‘ 天系 ，村ｌ机 ｊ ＩＩ、Ｉ 机 人的ｊ乱｝Ｊ：术』 构成ｒ｝Ｉ 系统可 以分为Ｅｙｅ—ｉｎ．Ｈａｎｄ系统 Ｅｙｅ．ｔｏ．Ｈａｎｄ系统 。 Ｅｙｅ—ｉｎ—Ｈａｎｄ系统＿ｌＪ的ＣＣＤ干ＩＩ机’股，奠装 机器 人执 术端， 机 人Ｉ 作过 ・｝－随机器人 郜的运动 ‘起运动，Ｊ『『Ｊ＿Ｅｙｅ—ｔｏ—Ｈａｎｄ系统中的 搬像机则址ｔ爻 机 人小休外的ｌｌｌ１ 化置， 机 人造动过 Ｉ『ｆ ｒ摄像机ｌ，『勺ｆ、’，＝ 姿念一 持改变。 小爻 川ｈ，Ｊ机器人 觉系统为 Ｊ 一 ｌｆ｝见觉的 Ｅｙｅ—ｉｎ—Ｈａｎｄ系统。为Ｊ 捉『 ’ 个系统１＇Ｉ４ Ｉ 作精度， ｆ 』 ‘采Ｊ１Ｊ ｌ 个５００ Ｗ十ｌ】ｌＩｌ，｝ ！ｒ ＿Ｉ；Ｊ址４４ ｍｍ× ３３ ｌＴｌｎｌ，像采 约０．０ｌ ７ １１１１１＂１，Ｉ 作 离１ ５５ ｍｌＴｌ， 通过 Ｊ ；托 ：＂Ｉ 个埘ｆｆＪ边线进｝Ｊ：定付（见 ９）。１ １１ １扳采川 个ｌ３０ ｗ十¨机，…Ｊ 定化孔 ２ １１１＿ｌｎ／－ 所以选川１ ｆ 定 镜 ，｝见场为 图９硅片的 像识别 ２．３机械手执行系统设计 【 Ｉ“ Ｉ 池 … 刈 ７ Ｊ 求『 ’ ，对Ｊ１ｉ ｊ 敏感， 此避免 装过 ・ｆ ， ‘ 接珩』｛｝ 染或 坝坏， 则会影响ｌＵ池”的光Ｉ 转换效半，拾取 ”的机械 采』ｌ Ｊ ｆ『Ｊ 利 接触 ，拾取盖扳 的机械下采川ｄ）８ ｍｍ １，』（Ｊ ’ 缓７１｛Ｊ Ｉ（ 『冬Ｉ １０）。通过ＩＵ磁 制 路ｌ佝通断， ｊ机 人及视 觉系统 合完成 Ｉ，ｆ勺拾取Ｈ 。 ２．４系统工作流程 托流刮封装 ，通过ｆ０感 发送给 个 ｌ器人斜Ｉ托 ０ｆ、＇，＿ｆ 、 Ｉｊ‘，ｊ』ｎ ｆ 】Ｊ ｌ，１４十Ｊｌ 人（以卜 ： 其“机器人Ａ”）进入Ｈ装 域，ＣＣＤ十ｌｌ机刈‘讹１ 个 悄刈‘『『ｊ进ｉｊ： 像采 ｝Ｊ｛刖， ”流剑拾取位， 通过化感器发送机器人Ａ 剑 ｌｊ，机 人 Ａ执行 ：”拾收幼作，ＣＣＤ十１１机埘 ”｝ 个埘『『Ｊ 进ｉ Ｊ 像采集 ０，汁 ”” ｊｌｉ ｌ１＇１４ｆ ’ 偏 ； 机器人Ａ拾收 片．岛 Ｈ装 域ｆＩＩＪ隙，抓取 扳 先进封装技术与设备 电子工业毫用设备 的机器人（以下称其为“机器人Ｂ”），进入封装区 域，ＣＣＤ相机对第一个凹槽相对的两个销子进行 图像采集识别，盖板流到拾取位，通过传感器发送 度设置为５０％，否则在拾取盖板的工位，会因为升 降太猛烈，导致盖板掉落，水平移动加速度设置为 ８０％，否则在拾取电池片的工位，会因为起停猛 烈，导致硅片与吸盘相对位置变动，对位失败，这 与吸盘吸附能力相关。 机器人位姿：机器臂旋转、Ｚ轴升降是执行 速度最慢的动作。合理规划机器人的动作，尽量缩 短拾取动作Ｚ轴升降的距离，避免“左臂”与“右臂” 机器人Ｂ盖板到位信号，机器人Ｂ执行盖板拾取 动作，ＣＣＤ相机对盖板两个销孔进行图像采集识 别，计算盖板＃ｆｉ￣Ｌ与铝托销子的位置偏差；机器人 Ｂ拾取盖板离开封装区域间隙，机器人Ａ通过视 觉引导将硅片装入第１个凹槽，然后跳至第２个 凹槽位置，ＣＣＤ对第２个凹槽对角进行图像采集 识别，然后离开封装区域，同时，机器人Ｂ通过视 觉引导将盖板封装于铝托第一凹槽，然后跳至第 ２个凹槽位置，ＣＣＤ相机对第一个凹槽相对的两 个销子进行图像采集识别，进行第２个凹槽的封 装。依次循环执行封装动作，直至将１个铝托的９ 个凹槽全部封装完毕，铝托流走。 ３系统优化 根据本系统实际生产线应用过程，围绕生产 效率、生产品质进行了多方面的改进，对系统运行 的速度、精度进行了分析优化。 ３．１速度优化 影响系统运行速度的因素主要有：机械手气 路系统；机器人速度、加速度；机器人位姿；ＣＣＤ 相机视野。 机械手气路系统：机械手采用伯努利吸盘， 由电磁阀控制吸盘通断执行吸盘的吸取与释放。 电磁阀安装位置距离吸盘的远近会大大影响吸 盘执行动作的响应时间，机器人需要设置等待时 间（大约１００～３００ ｍｓ）来保证吸盘充分拾取与释 放，否则会出现电池片没有完全拾取或释放，机 器人已经离开的现象。电磁阀的安装离吸盘越 近，二者之间的气管路越短，响应时间越短，系统 执行速度越快。 机器人速度、加速度：ＥＰＳＯＮ ＳＣＡＲＡ机器人 的速度、加速度通过设置百分比来控制，最高设置 参数为１００％，可以根据系统的执行动作分别设置 每一步的参数。为了保证速度，机器人 轴升降速 度、水平移动速度设置为１００％，但ｚ轴升降加速 姿势的切换，机器人起停是影响系统速度的主要因 素，采用正确的指令，减少机器人不必要的起停。 ＣＣＤ相机视野：缩小ＣＣＤ相机采集视野，去 掉对算法无用的视野，可以提高视觉系统的处理 效率，提升系统运行速度。 ３．２精度优化 整个系统的安装精度、刚度是影响系统运行 精度的关键，主要包括：机器人的安装；机械手结 构与安装；ＣＣＤ相机的安装。 机器人的安装：采用具有高刚性的铸件结构 作为机器人安装底座，保证安装表面精度，固定螺 钉必须锁紧，避免机器人在高速运动、急停急起的 情况下，底座发生晃动，影响系统工作精度。 机械手结构与安装：机械手采用轻量化、小型 化设计，结构设计要合理，保证质量、惯量低于机 器人的额定要求，避免机械手过重，惯量过大，在 高速运动、急停急起的工况下，机器人Ｚ轴发生晃 动，甚至在长期运动的情况下，ｚ轴发生形变。 ＣＣＤ相机的安装与调试：ＣＣＤ相机安装扒Ｙ、 三个方向可调，保证相机垂直采集图像，环形光 源尽可能贴近电池片或盖板采集图像区域，保证 图像的清晰度以及与环境的辨识度，减少图像的 信号干扰。 ４结束语 本文为单晶硅电池片ＰＶＤ工序提供了工业 视觉机器人封装自动化解决方案，目前已投入生 产，实践证明，该系统提高了生产效率、产品质量， 降低了劳动成本，对提高电池片光电转换效率有 益。同时，工业视觉机器人在各行各业的自动化、 电子工业毫用设蚤 ｔｓＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ＥｑｕｉｐｍｅｎｔｆｏｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＰｒｏｄｕｃ先进封装技术与设备 究【Ｄ］ ｃ汉： ・ ｝科｛支人 ，２０１ｌ ｌｌｆ ＪＪＪｊ＝Ｊ Ｋ颖Ｉ９ Ｊ， 枫． ‘种ｊ．Ｌ ｊ‘ 觉的移 机 人 系统［Ｊ１ …… 缘 形 报，２０００，（ｌ８）：６８—７２． “第 ｝ 能化转 过 ｃＩ『ｊ 订优势，Ｊ Ｊ‘广泛的Ｉ１ 场 利发 。 ＩｌＪ。 ：ｆ页 参考文献： 『１］ １．仔 ， 婶婶Ｊ．Ｌ Ｊ‘－ ｆ 觉ｎ０ 机器人ｌ ｉ 圳坎术 究…．机械砹汁ｔ 制造，２０ｌ１，（４）：１ ５５—１ ５７． ：ｉ 『２］ 刘晓、 Ｉ ’效ＨＩＴ ＾ ／・ 『 仆爪 ｛ 池－－透ｌＪｌ＿ ：ｆ ｌ拿ｊｌ ÷， 众、 ， 晓波． Ｊ － ｔ Ｉ Ｍ觉的１ 、ｌｌ，机器 人定 系统的没汁【Ｊ】．机床 液Ｊｌ、．，２０ｌ５，（９）：３５—３８ 作者简介： 甘Ｉ Ｉ】 ｎ ｛・ｊ１ ［Ｄ］． ；Ｉ ：ｉ可北【、Ｉｌ，人。上，２００７． 郭 竹（１９８９一），ｌ』ｊ，ＩＩ 汾…人，帧ＩＩ．，助 Ｉ． 帅， Ｉ３１ ｔ’ 迁 ．ｊ＾ｒ机 觉的Ｉ一＇ｌｋ机 人抓墩披小＝的叭 、 ｊ 。℃汉 Ｉ 人 ，１ 。 从。…Ｕ ｒ ０川改 的｛】Ｊ｝投１． ：ｆ ：ｉ ：： ・ｔ 进ｆｊ 牖蚀， 艺濉嫂为５２℃，ｌ 梢材质逃川 ：： ／１ 锈铡材顺，／１ ｌ１ ｒ ｊ 他 蚀ｌ 的足此 艺 ｌ：ｆ ：ｆ ｌ循 九溢流，ＪＪ口热乃‘』 采取 腆』Ｊ【ｊ热，泵仆ｎ勺选 ：ｆ 择为 － ， 水叫 。闰其 条什要求 ’１休 嘤密埘砹汁。 。… ５址 ， ｝… 蚀的循环竹路，Ｊ：患 。 三ｉ 儿 图６非真空铝腐蚀的循环管路示意图 ３结束语 近儿 米，伴随符硅 的人“ 化， 构ｌ，门趟微小化、ｒ 、 成化，时 什结 的沽净 Ｊ延、表 面ｆ门化 、 念、微 糙嫂、氧化 ｊｌＪ】＝艘等表【 状念ｎ勺 要求越水越南， 骂５真空铝腐蚀的循环管路示意图 ”的 种Ｊ 蚀拽术郇 ／１ 断的 发 ，川州 刈 ｎ”的腐蚀效 及均匀 捉…ｊ 舟的 求， 件ｌ，ｆ勺选择 参考文献 例ｌ，址十Ｊ｛埘Ｊ 真 潞』延 股为６０¨Ｃ， 还需梭入 ；腐蚀 。’＿．ｃ】 此刈Ｊ ｌ 惜休竹路的研究以及 ： 的意义。 楷材质选用ＰＶＤＦ材 质，』Ｊｌｌ热，ｊ‘』 采取投入ｊ． 』Ｊｌ１热。除此之外，僻路 ｆＩ 米 供约液的ｆＪ 动／／Ｊ。１人＿此药 、循环似、阀 、管什等纰 约液的循环过滤，均 流 液ｎ勺撕 过滤：ｍ － 成药液ｎ，Ｊ 环系统。 场。ｆ ６址 Ｍｉｃｈａｅｌ Ｑｕｉｒｋ，Ｊｕｌｉａｎ Ｓｅｒｄａ、 ：Ｉ ｒ】 、 … ，２００９ 休圳造ｊ支术【Ｍ１，ＩＬ ｆｌ 药液ｉｌＩＩＩ¨ＩＨ义￣ｉ：祠Ｊ浓』业ｌ佝均 Ｊ性。 钳｛Ｊ街蚀ｎ勺循 １ 路／＇ ：盘 。 ・ ｉ， ， 枘¨． ｌＩ， ：腐蚀消洗ｉ２ ，２０１６，（１）：４３—４６． ＪＩ Ｊ［Ｊ］Ｉｌｌ ｒ Ｉ一、 ０ ＪＩ Ｊ 匝圆圆（总 ２６３
