专利名称:感光树脂组合物以及利用该组合物制作图案的方法
和电子元件
专利类型:发明专利
发明人:名儿耶友宏,松浦秀一,清水健博申请号:CN02813324.2申请日:20020703公开号:CN1522388A公开日:20040818
摘要:本发明公开一种感光树脂组合物,其包括:在具有通式(I)表示的重复单元(U1)的聚酰胺树脂(A)和具有通式(II)表示的重复单元(U2)的聚酰胺-酰亚胺树脂(B)中至少其中之一的感光树脂;以及在具有一个光聚不饱和键的硅烷偶联剂(C)和含有每分子至少5个光聚不饱和键的单体(d1)的光聚不饱和单体(D)中至少其中之一的光聚化合物;通式见右上式(通式中,X代表具有芳香环的三价有机基团,Y代表具有芳香环的二价有机基团,R代表具有感光基的单价有机基团),通式见右下式(通式中,X和Y代表具有芳香环的三价有机基团,R代表具有感光基的单价有机基团),使用该感光树脂组合物制备图案的方法,以及一种电子元件。
申请人:日立化成工业株式会社
地址:日本东京
国籍:JP
代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司
代理人:钟晶
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