专利名称：使用真空压力控制阀的预测诊断系统和方法专利类型：发明专利
发明人：大卫·布莱恩·张伯伦,弗拉迪斯拉夫·达维德科维奇,斯
科特·本尼迪克特,戈登·希尔
申请号：CN201911344981.0申请日：20170508公开号：CN111022752A公开日：20200417
摘要：校准真空系统中的阀并使用该校准在真空系统中提供诊断指示包括测量根据角度阀位置所述阀的传导率并且生成传导率校准图或函数，以供在阀操作期间使用。基于接收到设定点角度阀位置以及测量出的传导率与相对于角度阀位置的预定义的传导率度量之间的差来设置实际角度阀位置。确定实际系统传导率以及系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差。基于阀的实际角度阀位置以及系统的实际系统传导率与参考系统传导率之间的差，生成对系统中的故障的诊断指示。
申请人：MKS 仪器公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：北京品源专利代理有限公司
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