专利名称:一种四探针薄膜电阻测试装置专利类型:实用新型专利发明人:陈清明,张亚林,张辉申请号:CN201720223626.8申请日:20170309公开号:CN206876768U公开日:20180112
摘要:本实用新型公开一种四探针薄膜电阻测试装置,包括绝缘块、钢丝、上板、下板、螺栓、铜管、底板、端板、压块,铜管一端连接测试用的电压表和电流表设备,另一端连有底板,底板上设有绝缘块、下板,下板上设有上板,四根钢丝从铜管内穿出来后再穿过绝缘块,钢丝再从上板底部穿过,钢丝在上板穿出端被压块压住固定后穿出上板,四根钢丝穿出上板的部分垂直于上板向下板的方向弯折,上板和下板通过螺栓连接,底板的另一端设有端板;本实用新型操作简单、精度准度高,极大的保证了实验重复性以及被测薄膜的光洁度和完整性。
申请人:昆明理工大学
地址:650093 云南省昆明市五华区学府路253号
国籍:CN
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