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一种用于MOCVD反应器的支撑轴及MOCVD反应器[发明专利]

来源：欧得旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种用于MOCVD反应器的支撑轴及MOCVD反应

器

专利类型：发明专利发明人：魏唯,罗才旺,陈特超申请号：CN201310338182.9申请日：20130806公开号：CN103436862A公开日：20131211

摘要：本发明公开了一种用于MOCVD反应器的支撑轴及MOCVD反应器。为了克服现有的支撑轴导热系数大，载片盘往支撑轴传热量大，导致内圈加热器的功率利用率低，内圈加热的表面载荷高、支撑轴下方的冷却需求高的问题，所述用于MOCVD反应器的支撑轴包括用于支撑轴底部、支撑轴中部和支撑轴顶部；所述支撑轴顶部、支撑轴中部和支撑轴底部之间固定相连，且支撑轴底部、支撑轴中部和支撑轴底部之间连通有过气通道；所述支撑轴顶部呈锥台形，该支撑轴顶部装有连接环，连接环顶部装有固定盖板，所述固定盖板顶部装有隔热盖板。本发明提高了内圈加热器的使用寿命，延长了设备正常工作时长，并且减少了整机功率，提升了节能效果。

申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

地址：410111 湖南沙市天心区新开铺路1025号

国籍：CN

代理机构：长沙正奇专利事务所有限责任公司

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