（12）发明专利申请
（21）申请号 CN03800758.4 （22）申请日 2003.05.14 （71）申请人 松下电工株式会社
地址 日本国大阪府门真市大字门真1048番地
（10）申请公布号 CN1537326A （43）申请公布日 2004.10.13
（72）发明人 渡部祥文;相泽浩一;菰田卓哉;幡井崇;本多由明 （74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 严舫
（51）Int.CI
H01J1/312; H01L21/316; C25D11/32;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
电化学氧化
（57）摘要
公开了用于半导体层的电化学氧化的方
法。在用于作为电子器件之一的电子源10(场致发射类型电子源)的生产过程中的电化学氧化处理过程中，基于来自电阻检测部分35的检测电压，控制部分37预先测定由于电解溶液B的电阻导致的电压增量。然后，控制部分37控制电源以供应
恒电流，以便引发对于在物体30上形成的半导体层的氧化处理。控制部分37通过从中减去电压增量来校正来自电压检测部分36的检测电压。当校正电压达到给定的上限电压值时，可以操作控制部分37来中断电源32的输出和终止氧化处理。本发明使得可以生产在其特性方面具有减小的变化的电子器件。
法律状态
法律状态公告日
2004-10-13 2004-12-29 2006-08-23 2017-06-30
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
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权利要求说明书
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说明书
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