研磨垫[发明专利]

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专利名称：研磨垫专利类型：发明专利

发明人：柏田太志,德重伸,高桥大介申请号：CN201580020884.X申请日：20150407公开号：CN106232296A公开日：20161214

摘要：研磨垫(13)用于对具有凸状曲面部分(1a)的被研磨物(1)的所述凸状曲面部分进行研磨，其特征在于，在圆盘状且具有厚度的弹性体的侧表面配置有环状凹研磨部(13a)，一边以该圆盘的圆的中心为轴沿圆周方向驱动所述环状凹研磨部旋转，一边使所述环状凹研磨部与被研磨物的凸状曲面部分相接触，并且构成环状凹研磨部的弹性体的压缩0.1mm时的压缩应力为50gf/cm～150gf/cm的范围，且压缩应力的比(压缩0.5mm时的压缩应力/压缩0.1mm时的压缩应力)为5～30的范围。能够高精度地对被研磨物的所述凸状曲面部分进行抛光研磨。

申请人：富士纺控股株式会社

地址：日本东京

国籍：JP

代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：严鹏

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