碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物[发明专利]

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专利名称：碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物专利类型：发明专利

发明人：黄国栋,赵希德,陈宜见,张孟浩申请号：CN200710195572.X申请日：20041230公开号：CN101182366A公开日：20080521

摘要：本发明涉及一种含有多环芳基的碱可溶树脂与包含该树脂的感旋光性组合物。本发明的碱可溶树脂包含如下所述的重复单元：其中，R、R、R各自地为H或CH；R为取代或未取代的多环芳基的衍生基团，且选择性地包含一个或多个择自氧、氮、硫的杂原子；X为烷基、苯甲基、或羟基；n、n各自地为0至8的整数；a、b、c为整数，且a、c各不为0。本发明的含多环芳基的碱可溶树脂有助于光致抗蚀剂组合物的显影性质提升、增加光致抗蚀剂组合物的安定性、减少残渣的发生。

申请人：财团法人工业技术研究院

地址：中国新竹县

国籍：CN

代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所

代理人：刘新宇

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