机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法[发明专利]

来源：欧得旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法专利类型：发明专利

发明人：何理,许向辉,郭贤权,陈超申请号：CN201410258529.3申请日：20140611公开号：CN104022055A公开日：20140903

摘要：一种机台之机械手臂偏移的检测装置，具体为晶舟，具有间隔设置的控片容置区域，控片容置区域之第一控片容置区域和第二控片容置区域以中间控片容置区域为中心呈对称分布，且第一控片容置区域和第二控片容置区域沿晶舟之两端的纵向宽度较中间控片容置区域的纵向宽度呈阶梯型逐次增大。本发明通过以中间控片容置区域为中心，并对称设置宽度呈阶梯型增大的第一控片容置区域和第二控片容置区域，且依据机械性刮伤缺陷定义第一偏移区域、第二偏移区域和第三偏移区域，在进行偏移检测时通过在控片上铺设光阻或淀积氮氧化物薄膜的方式，可在缺陷发生的早期时间内及时检测，并进行设备维修、保养，减少产品报废量，改善产品良率。

申请人：上海华力微电子有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：王宏婧

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文