用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪[实用新型专利]

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专利名称：用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪专利类型：实用新型专利发明人：罗先照,胡志强申请号：CN200920175590.6申请日：20090824公开号：CN201476761U公开日：20100519

摘要：本实用新型涉及一种用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，包括防震平台，所述防震平台的上表面设有仪器主机、电子控制器和计算机，所述仪器主机包括6JA干涉显微镜、CCD摄像、全息衍射光栅计量装置和支架座，支架座的上表面设有共基面运动X-Y工作台，共基面运动X-Y工作台上表面的左侧设有全息衍射光栅计量装置，共基面运动X-Y工作台上表面的右侧设有垂直位移驱动装置，垂直位移驱动装置的上表面设有垂直位移工作台座，垂直位移工作台座的正上方设有6JA干涉显微镜。本实用新型的有益效果为：能精确测量Rz为0.001-2.0μm的三维表面形貌特征，产品既有继承性，又能满足工程表面测量的发展要求，是一种理想的表面非接触测量仪器。

申请人：苏州海兹思纳米科技有限公司

地址：215000 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼105

国籍：CN

代理机构：北京纽乐康知识产权代理事务所

代理人：秦月贞

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