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一种逆导型绝缘栅双极性晶体管结构及其制备方法[发明专利]

来源:欧得旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种逆导型绝缘栅双极性晶体管结构及其制备方法专利类型:发明专利发明人:单建安,冯浩,袁嵩申请号:CN201910069241.4申请日:20190124公开号:CN109860284A公开日:20190607

摘要:一种逆导型绝缘栅双极性晶体管结构及其制备方法,本发明涉及于功率半导体器件,针对现有技术RC‑IGBT器件中存在的问题,本发明提供一种新型RC‑IGBT的器件结构及其制造方法,以在有效抑制器件的开启电压折回现象(snap back)的基础上,改善器件内部电流分布的均匀性,减低器件的导通损耗,提升器件的可靠性。本发明提供的技术方案是在n型场截止层的内部设n‑型缓冲层,所述n‑型缓冲层位于n+阴极区之上,且所述n‑型缓冲层的峰值掺杂浓度低于所述n型场截止层的峰值掺杂浓度。

申请人:中山汉臣电子科技有限公司

地址:528437 广东省中山市火炬开发区会展东路16号数码大厦1606号房

国籍:CN

代理机构:深圳市千纳专利代理有限公司

代理人:袁燕清

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